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舉例幾種電子特種氣體
2021.10.28
合肥電子特種氣體一般用于電子工業、半導體制造用，下面舉例幾種特種氣體
1：摻雜氣：AsH3、PH3、GeH4、B2H6、AsCl3、AsF3、H2S、BF3、BCl3、SeH2、SbH3、(CH3)2Te、(CH3)2Cd、(C2H5)2Cd、PCl3、(C2H5)2Te:
2：晶體生長氣：SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、B2H6、BBr3、BCl3、AsH3、PH3、GeH4、TeH2、(CH3)3Al、(C2H5)3Al、(CH3)3As、(C2H5)3As、(CH3)2Hg、(CH3)P、(C2H5)3P、SnCl4、GeCl4、SbCl5、AlCl3、Ar、He、H2:
3：氣相蝕刻氣：CL2、HCl、HF、HBr、SF6
4：等離子蝕刻氣：SIF4、CF4、C3F8、CHF3、C2F6、CClF3、O2、C2ClF5、NF3、SF6、BCl3、HFCl2、N2、He、Ar:
5：離子束蝕刻氣：C3F8、CHF3、CClF3、CF4
6：離子注入氣：AsF3、PF3、PH3、BF3、BCl3、SiF4、SF6、H2、N2:
7：化學氣相淀集氣：SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、NH3、NO、O2
8：平衡氣：N2、Ar、He、H2、CO2、N2O、O2
9：外延氣：SiH4、SiH2Cl2、SiCl4、Si2H6、HCl、PH3、AsH3、B2H6、He、H2、N2、Ar
